图书信息：
书    名：电子科学与技术专业英语-微电子技术分册
作    者：林殿阳
出 版 社：哈尔滨工业大学
出版日期：2003年06月第1版

内容简介：
本书由半导体物理、半导体器件、半导体与集成电路工艺、集成电路设计、微电子机械系统和科技文献范例六部分组成。全书涵盖了微电子技术领域的基本内容，同时又介绍了该领域的一些较新的发展。来源:精彩网http://www.exvv.com
　　本书可作为电子科学与技术专业微电子技术方向的三、四年级本科生的专业英语教材，也可供相关专业的本科生和从事该专业领域的工程技术人员使用。

目录：
Chapter 1 Semiconductors Physics
1.1 Energy Bands and Carrier Concentration
1.2 Carrier Transport Phenomena
1.3 PN Junction
1.4 Summary
参考文献
Chapter 2 Semiconductor Device
2.1 Bipolar Junction Transistor
2.2 The MOSFET
2.3 Microwave and Photonic Devices
2.4 Summary
参考文献
Chapter 3 Processing Technology
3.1 Crystal Growth and Epitaxy
3.2 Crystal Growth from the Melt
3.3 Vaper-Phase Epitaxy
3.4 Oxidation and Film Deposition
3.5 Diffusion and Ion Implantation
3.6 Lithographies
3.7 Wet Chemical Etching
3.8 Dry Etching
3.9 Integrated Devices
3.10 Fundamental Limits of Integrated Devices
参考文献
Chapter 4 Integrated Circuits
4.1 Introduction
4.2 Design Analysis and Simulation
4.3 Verification
4.4 Summary
参考文献
Chapter 5 Microelectromechanical Systems(MEMS)
5.1 Introduction
5.2 MEMS
5.3 Mechanical Characteristics of Silicon
5.4 Microfabrications for MEMS
5.5 Microsensing for MEMS
5.6 Electromechanical Actuation
5.7 Materials for MEMS
参考文献
Chapter 6 Examples of Scientific and Technological Papers
6.1 The Challenges for Physical Limitations in Si Microelectronics
6.2 Microelectronics and Photonics-the Future
6.3 Accelerated Verification of Digital Devices Using VHDL
6.4 What Is Nanotechnology
参考文献
附录页